羅茨真空泵（簡(jiǎn)稱羅茨泵）是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（又稱機(jī)械增壓泵）和高真空多級(jí)羅茨泵真空設(shè)備的一種。干式真空泵很早就出現(xiàn)了,但沒(méi)有明確的定義。就代替油封式機(jī)械泵來(lái)說(shuō),一般通用的說(shuō)法是: 能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內(nèi)工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵, 即稱為干式真空泵(也稱為無(wú)油真空泵)

干式真空泵很早就出現(xiàn)了,但沒(méi)有明確的定義。就代替油封式機(jī)械泵來(lái)說(shuō),一般通用的說(shuō)法是: 
能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內(nèi)工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、
排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵, 即稱為干式真空泵(也稱為無(wú)油真空泵)