循環(huán)冷凍機(jī)的基本原理

　　驅(qū)動He氣通過壓縮機(jī)的壓縮后,以高壓形態(tài)供給冷凍機(jī),將蓄冷器和氣缸的室溫側(cè)連在一起,借助切換閥接在He氣壓縮機(jī)的高壓與低壓側(cè)。此外,再將蓄冷器和氣缸切換到低溫側(cè),氣缸內(nèi)有一個活塞連桿,借助曲柄連桿機(jī)構(gòu)上下移動。為使G-M循環(huán)冷凍機(jī)更小型化緊湊化,在活塞桿內(nèi)采用了蓄冷器構(gòu)造

　　用活塞密封被隔氣缸內(nèi)的壓縮氣體, 通過活塞的上下移動,使里面的被隔氣體膨脹,就可使其吸收外部的熱量。如果,從外部傳入的熱量較少或者根本沒有, 處于斷熱狀態(tài),氣體本身就會降溫。這種吸收外部熱量下降自身溫度的過程,從能量守恒的角度來分析,正好與活塞對外做的功相等。這就是制冷的基本原理。

　　由于低溫冷凝泵具有無油,對所有氣體的抽速都較大,特別是對水蒸汽、H2等抽速很大,適應(yīng)性強(qiáng),制冷機(jī)低速運(yùn)行,且運(yùn)動部件很少,有利于長期可靠運(yùn)行等優(yōu)點(diǎn),因而,被廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)工藝中的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控?zé)岷朔磻?yīng)、電真空器